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解决集成电路领域科研和制造中设备和工艺短缺的难题

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  • 从事高精度磁控溅射设备及其关键组件研发和制造;
  • 为合作伙伴以及客户提供薄膜加工制造、工艺调试、设备软件开发等服务;
  • 努力解决集成电路领域科研和制造中设备和工艺短缺的难题;
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