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PLD靶台


致真设备推出了多款超高真空生长源(磁控溅射阴极&PLD靶台): 可以实现磁性材料和非磁性材料的高精度生长,靶面进气,可以调节溅射角度与距离;

辐射式高温样品台


公司致力于打造国产的高端磁控溅射设备,提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平,努力解决集成电路领域科研和制造中设备和工艺短缺的难题。

8寸或12寸Cluster系统


致真设备推出了多款快速进样室系统: 可以实现2inch,4inch和8inch晶圆的存储,抓取与传输;可以选配2inch和4inch进样室自动传输;

进样室样品停放台


公司致力于打造国产的高端磁控溅射设备,提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平,努力解决集成电路领域科研和制造中设备和工艺短缺的难题。

工艺菜单定制


致真设备可根据客户需求,开发如自旋、超导量子、MEMS等领域的薄膜工艺菜单:

科研级磁控溅射系统—MS-200


公司致力于打造国产的高端磁控溅射设备,提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平,努力解决集成电路领域科研和制造中设备和工艺短缺的难题。

科研级磁控溅射系统—MS-300


公司致力于打造国产的高端磁控溅射设备,提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平,努力解决集成电路领域科研和制造中设备和工艺短缺的难题。

多系统真空互联


公司致力于打造国产的高端磁控溅射设备,提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平,努力解决集成电路领域科研和制造中设备和工艺短缺的难题。

2~4 inch进样室


致真设备推出了多款快速进样室系统: 可以实现2inch,4inch和8inch晶圆的存储,抓取与传输;可以选配2inch和4inch进样室自动传输;

固定长度阴极


致真设备推出了多款超高真空生长源(磁控溅射阴极&PLD靶台):可以实现磁性材料和非磁性材料的高精度生长,靶面进气,可以调节溅射角度与距离;

超高真空生长源


公司致力于打造国产的高端磁控溅射设备,提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平,努力解决集成电路领域科研和制造中设备和工艺短缺的难题。

线性驱动


公司致力于打造国产的高端磁控溅射设备,提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平,努力解决集成电路领域科研和制造中设备和工艺短缺的难题。

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合肥致真精密设备有限公司

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