产品搜索

两个镀膜系统直接互联


致真设备还推出了多款互联设备实现多个系统的互联,适用于2~8英寸的晶圆。通过真空泵组搭配可实现晶圆的超高真空传输。根据需求可以选择两套系统直接相连,成本较低且运行可靠。也可以通过圆形互联系统实现多个系统相连,通过选配进样室可以实现超高真空过渡,减少对镀膜系统的污染。

圆形互联系统(外置机械臂、内置机械臂)


致真设备还推出了多款互联设备实现多个系统的互联,适用于2~8英寸的晶圆。通过真空泵组搭配可实现晶圆的超高真空传输。根据需求可以选择两套系统直接相连,成本较低且运行可靠。也可以通过圆形互联系统实现多个系统相连,通过选配进样室可以实现超高真空过渡,减少对镀膜系统的污染。

脉冲激光沉积系列—PLD-400


脉冲激光沉积系列设备是高校和科研院所常用的氧化物和多组分薄膜沉积设备,该设备具有简单可靠、运行稳定的特点。PLD-400型脉冲激光沉积设备,标配6个1inch靶材,靶材可以原位更换,配合RHEED和准分子激光器可以实现高质量薄膜的沉积。

400腔PLD设备


公司致力于打造国产的高端磁控溅射设备,提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平,努力解决集成电路领域科研和制造中设备和工艺短缺的难题。

< 1234 >

合肥致真精密设备有限公司

地址:合肥市新站区魏武路与文忠路交汇处北航合肥创新研究院主楼D栋
            合肥市肥西县经济开发区繁华大道与大观亭路交口西南角立恒工业广场二期A12栋508室(交付)
             电话:0551-66020758

            19315277762(业务)

            13866289264(行政)