真空传输平台-真空传输平台-合肥致真精密设备有限公司,高精度磁控溅射设备,薄膜加工制造

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公司致力于打造国产的高端磁控溅射设备，提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平，努力解决集成电路领域科研和制造中设备和工艺短缺的难题。

公司致力于打造国产的高端磁控溅射设备，提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平，努力解决集成电路领域科研和制造中设备和工艺短缺的难题。

致真设备还推出了多款互联设备实现多个系统的互联，适用于2~8英寸的晶圆。通过真空泵组搭配可实现晶圆的超高真空传输。根据需求可以选择两套系统直接相连，成本较低且运行可靠。也可以通过圆形互联系统实现多个系统相连，通过选配进样室可以实现超高真空过渡，减少对镀膜系统的污染。

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合肥致真精密设备有限公司

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