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晶圆真空传输平台—VTM


晶圆真空传输平台采用四边形、六边形或八边形设计,可以实现多个工艺室的互联,系统可选配机械臂和校准装置,可实现8或12吋晶圆的自动传输。系统搭配控制软件可实现安全可靠的控制。

关键词:

高精度磁控溅射设备、薄膜加工制造、工艺调试、设备软件开发

所属分类:

真空传输平台

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晶圆真空传输平台—VTM

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