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超高真空管道传输系统


生产型磁控溅射系统是针对生产企业实验室和产线研发的一系列高性能、高效率的磁控溅射装备。MSI-200型磁控溅射设备采用多个真空腔室互联的设计,通过Cluster内置的三维机械手实现晶圆的传输,可搭配多个溅射室或处理腔室,适用于生产产线或实验线。

关键词:

高精度磁控溅射设备、薄膜加工制造、工艺调试、设备软件开发

所属分类:

真空传输平台

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超高真空管道传输系统

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