工艺菜单定制

致真设备可根据客户需求，开发如自旋、超导量子、MEMS等领域的薄膜工艺菜单：

关键词：

高精度磁控溅射设备、薄膜加工制造、工艺调试、设备软件开发

所属分类：

定制系统及工艺菜单

产品附件：

咨询热线：

工艺菜单定制

详情介绍

　　致真设备可根据客户需求，开发如自旋、超导量子、MEMS等领域的薄膜工艺菜单：

　　自旋磁性多层膜：PMA、TMR等；

　　超导量子：Nb、NbN、约瑟夫森结等；

　　MEMS: AlN、ZnO等。

相关产品

致真设备推出了多款超高真空生长源（磁控溅射阴极&PLD靶台）：可以实现磁性材料和非磁性材料的高精度生长，靶面进气，可以调节溅射角度与距离；

公司致力于打造国产的高端磁控溅射设备，提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平，努力解决集成电路领域科研和制造中设备和工艺短缺的难题。

致真设备推出了多款快速进样室系统：可以实现2inch，4inch和8inch晶圆的存储，抓取与传输；可以选配2inch和4inch进样室自动传输；

公司致力于打造国产的高端磁控溅射设备，提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平，努力解决集成电路领域科研和制造中设备和工艺短缺的难题。

立即咨询

合肥致真精密设备有限公司

地址：合肥市新站区魏武路与文忠路交汇处北航合肥创新研究院主楼D栋
合肥市肥西县经济开发区繁华大道与大观亭路交口西南角立恒工业广场二期A12栋508室（交付）
电话：0551-66020758

19315277762(业务）

13866289264(行政)