8寸或12寸Cluster系统
致真设备推出了多款快速进样室系统： 可以实现2inch，4inch和8inch晶圆的存储，抓取与传输；可以选配2inch和4inch进样室自动传输；
关键词：
高精度磁控溅射设备、薄膜加工制造、工艺调试、设备软件开发
所属分类：
超高真空组件
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8寸或12寸Cluster系统
详情介绍
致真设备推出了多款快速进样室系统：
可以实现2inch，4inch和8inch晶圆的存储，抓取与传输；可以选配2inch和4inch进样室自动传输；
可在进样室实现加热或等离子体预清洗等功能；搭配控制软件实现稳定控制。
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