法兰口对准器

关键词：

高精度磁控溅射设备、薄膜加工制造、工艺调试、设备软件开发

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超高真空零配件

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致真设备推出了多款超高真空生长源（磁控溅射阴极&PLD靶台）：可以实现磁性材料和非磁性材料的高精度生长，靶面进气，可以调节溅射角度与距离；

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