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圆形互联系统(外置机械臂、内置机械臂)


致真设备还推出了多款互联设备实现多个系统的互联,适用于2~8英寸的晶圆。通过真空泵组搭配可实现晶圆的超高真空传输。根据需求可以选择两套系统直接相连,成本较低且运行可靠。也可以通过圆形互联系统实现多个系统相连,通过选配进样室可以实现超高真空过渡,减少对镀膜系统的污染。

关键词:

高精度磁控溅射设备、薄膜加工制造、工艺调试、设备软件开发

所属分类:

真空传输平台

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圆形互联系统(外置机械臂、内置机械臂)

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