真空互联系统
公司致力于打造国产的高端磁控溅射设备，提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平，努力解决集成电路领域科研和制造中设备和工艺短缺的难题。
关键词：
高精度磁控溅射设备、薄膜加工制造、工艺调试、设备软件开发
所属分类：
定制系统及工艺菜单
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真空互联系统
详情介绍
致真设备推出了多款真空互联系统：
通过Cluster可以实现多个系统的互联;
多个沉积系统共用进样室实现互联;互联沉积与表征调控系统，实现薄膜的真空沉积、调控与表征。
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合肥致真精密设备有限公司
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