高精度磁控溅射设备分类及产品介绍

发布时间：

2023/04/23 20:19

风险提示：PET复合铜箔推广不及预期；真空磁控溅射双面镀铜设备推广不及预期；存货较大的风险；应收账款的坏账风险；假设条件未成立风险

而复合铜箔核心生产设备则包括磁控溅射设备+水电镀设备+超声波滚焊设备。其中，电镀设备龙头是目前国内能批量生产用于复合铜箔制备的卷式水平镀膜设备厂商，单机设备良品率达90%，其双边夹卷式设备放量在即，首台磁控溅射设备有望快速交付；也已经从第1代设备升级到目前的2.5代设备，在性能、产能与及良品率上得到很大的提升。

近日表示，其研发的复合铜箔一体机生产设备项目进展顺利，其工艺采用了多次磁控溅射，将于今年一季度完成组装调试。此外，旗下子公司计划投资2.5亿元用于先进材料及高端装备研发中心建设项目，包括复合铜箔设备研发，与在铜箔设备技术研发、3微米等极薄铜箔产品和复合铜箔等领域深度合作。

磁控溅射环节的主要工艺难点包括：①基膜较薄，收放卷时容易起皱变形；②镀膜过程中温度升高，需要散热；③张力控制方面，因为基膜幅宽较宽，材料容易拉扯变形；④磁控溅射过程需要高压放电，可能存在膜穿孔现象。目前，国内磁控溅射设备厂仍缺乏一定技术经验积累，存在箔材穿孔、镀铜不均、基材起皱变形等问题，且由于磁控和后续步骤的节拍限制，目前复合铜箔的单位设备效率尚不及传统箔材，限制了产品放量。

·东威从水镀做到磁控溅射的团队：水镀设备是公司原有的，做FPC的卷对卷做水镀的复合铜箔生产。磁控溅射没有这个技术，今年3月请到团队来公司开发磁控溅射项目，目前首台机还在组装调试中，预计这个月底参数可以出来。做2个设备的优势：一个设备做成功了，现在可以打包销售2个设备。但还是要把品质和良率做上去，不然再怎么降价客户也不接受。

（有可转债）：此前公司公告，根据公司战略规划，拟以5000万元设立全资子公司，用于PET、PP、PI等材料的复合铜箔及相关材料的研发、生产和销售业务。上述事项目前正按计划推进中，已与供应商签订主要生产设备卷对卷磁控溅射真空镀膜设备、双边夹卷式水平镀膜线等的采购合同，设备将于近期交付。

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