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X射线衍射仪


        半导体单晶材料的结晶质量和各种低维半导体异质结的结构性能研究,是半导体单晶材料研究的前提,具有基础性的重要意义。X射线衍射仪是实现晶体结构表征和物相分析鉴定的常用设备。本实验室的多功能X射线衍射仪可用于定性及定量分析、薄膜分析、高分辨外延薄膜分析、薄膜面内分析等。仪器包括X射线高压发生器及陶瓷X射线光管,高精密度测角仪、一体化聚焦光学与平行光学系统、自动可变狭缝系统、欧拉环及样品台(五轴)、薄膜用Ge400和Ge220高分辨单色器、二维实时面探测器,以及计算机控制系统、数据处理及应用分析软件等。