工艺中心

场发射扫描电子显微镜


        本设备可用于观察各类样品在微观世界中的形貌,进行纳米级或纳米级以下的样品成像。在低电压下能够获取超高分辨率图像,其装载了Lnlens、SE2、BSD三种探测器,可分别获取超高分辨率、立体感好、不同成分衬度的形貌图像。此外,还配备了牛津的EDS、EBSD探测器,可实现在观察样品形貌的同时进行样品元素以及微观结构的分析。