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晶圆真空传输平台—VTM

晶圆真空传输平台采用四边形、六边形或八边形设计,可以实现多个工艺室的互联,系统可选配机械臂和校准装置,可实现8或12吋晶圆的自动传输。系统搭配控制软件可实现安全可靠的控制。

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超高真空管道传输设备

生产型磁控溅射设备是针对生产企业实验室和产线研发的一系列高性能、高效率的磁控溅射装备。MSI-200型磁控溅射设备采用多个真空腔室互联的设计,通过Cluster内置的三维机械手实现晶圆的传输,可搭配多个溅射室或处理腔室,适用于生产产线或实验线。

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两个镀膜系统直接互联

致真设备还推出了多款互联设备实现多个系统的互联,适用于2~8英寸的晶圆。通过真空泵组搭配可实现晶圆的超高真空传输。根据需求可以选择两套系统直接相连,成本较低且运行可靠。也可以通过圆形互联系统实现多个系统相连,通过选配进样室可以实现超高真空过渡,减少对镀膜系统的污染。

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圆形互联设备(外置机械臂、内置机械臂)

致真设备还推出了多款互联设备实现多个设备的互联,适用于2~8英寸的晶圆。通过真空泵组搭配可实现晶圆的超高真空传输。根据需求可以选择两套设备直接相连,成本较低且运行可靠。也可以通过圆形互联设备实现多个设备相连,通过选配进样室可以实现超高真空过渡,减少对镀膜设备的污染。

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