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薄膜工艺开发服务

致真设备拥有多种型号高精度磁控溅射设备,可根据客户需求,定制薄膜工艺开发服务,为客户提供全面的工艺开发与技术支持。

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工艺菜单定制

致真设备可根据客户需求,开发如自旋、超导量子、MEMS等领域的薄膜工艺菜单: 自旋磁性多层膜:PMA、TMR等; 超导量子:Nb、NbN、约瑟夫森结等; MEMS: AlN、ZnO等 。

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软件系统定制

1.实时性:全自动上位机软件能够实时获取和显示设备运行过程中的状态信息,用户可随时了解当前设备的情况,并及时采取相应措施。 2.可视化:全自动上位机软件通过图形化界面将复杂的机械臂调度和工艺过程呈现出来,并且添加实时曲线图,使用户能够直观地了解设备动态的状态,可利用可视化界面监控设备的运行状态、工艺过程的进展情况等。3.可扩展性:全自动上位机软件可根据不同客户需求定制相应软件,可扩展不同下位电控件,满足多种工艺要求,实现各种工艺镀膜流程。

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