进样室样品停放台

关键词：

高精度磁控溅射设备、薄膜加工制造、工艺调试、设备软件开发

所属分类：

超高真空零配件

产品附件：

咨询热线：

进样室样品停放台

详情介绍

相关产品

MS-700磁控溅射设备是一款具有多功能、多阴极的磁控溅射系统，具有超高真空，单原子层沉积精度的特点。MS-700设备可根据需求配置12个2inch 或6个3inch或4个4inch圆形阴极，可选择垂直溅射、自动传输、反应溅射、膜厚测量等配置。适用于研发和生产中高精度工艺和多靶溅射的需求。

MS-400磁控溅射设备是一款多功能多靶磁控溅射系统，具有超高真空，单原子层沉积精度，设备维护简单的特点。MS-400设备标配6个2inch共焦超高真空阴极，可选择垂直溅射、自动传输、反应溅射、膜厚测量等配置。满足实验室或企业实验室中工艺研究的需求，维护简单，运行稳定。

8英寸物理气相沉积设备是针对生产企业实验室和产线研发的一系列高性能、高效率的装备。Trutholar200-H-10型物理气相沉积设备采用多个真空腔室互联的设计，通过晶圆真空传输平台实现晶圆的传输，可搭配多个溅射室或处理腔室，适用于生产产线或实验线。

12 英寸物理气相沉积设备是针对生产企业实验室和产线研发的一系列高性能、高效率的装备。Trutholar 300-S-10 型物理气相沉积设备采用多个真空腔室互联的设计,通过晶圆真空传输平台实现晶圆的传输,可搭配多个溅射室或处理腔室,适用于生产产线或实验线。

立即咨询

合肥致真精密设备有限公司

地址：合肥市新站区魏武路与文忠路交汇处少荃湖科创中心D区8F&9F
销售部：0551-66020758
采购部：0551-66020659
人事部：0551-66020613
行政部：0551-66026857

售后部：0551-66020691