致真资讯 | 共享实验室里的致真力量!高精度磁控溅射设备高效支撑北航合肥科创平台

时间:

2025-06-27


近日,北航合肥创新研究院打造的创新型“共享实验室”成为科技界焦点。在这座位于新站少荃湖畔、汇聚7大尖端实验室的科研共享平台上,致真设备自主研发的高精度磁控溅射设备作为关键工艺装备成功入选,成为支撑薄膜材料研究领域的坚实力量。

原文链接: 以共享促共赢!新站科创“引擎”来了~

 

(新闻截图)

 

前沿驱动 产学研深度融合

依托北京航空航天大学及北航合肥创新研究院的科研积淀,致真设备不仅将先进技术转化为高性能设备,其团队更深度融入平台生态。在实验室内,致真工程师不仅是设备维护者,更是科研伙伴,已成功协助多个团队攻克了如8英寸晶圆镀膜均匀性控制等关键工艺挑战。同时,平台中积累的海量工艺数据和前沿需求,也源源不断地反馈至致真设备的产品研发端,推动其产业级设备的技术迭代与升级,形成了“前沿研究驱动设备创新,先进设备反哺科研突破”的良性循环。

 

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追求极致 锻造装备基石

“仪器‘忙’起来,成果‘涌’出来”——报道中的生动描述正是致真设备在共享实验室中的真实写照。作为薄膜制备的关键环节,致真设备凭借其卓越的稳定性与工业级可靠性,已成为科研团队加速创新的坚实后盾。

 

(新闻截图)

 

作为国家高新技术企业,致真设备始终聚焦高精度物理气相沉积设备及其关键组件的研发与制造。依托深厚的产学研融合经验,致真设备现已构建起覆盖科研级到产业级的全系列薄膜沉积设备产品线,并提供“设备+工艺”的全栈式解决方案,在航天芯片、量子器件、新型存储等领域累计替代进口设备超百台,成为国家重点工程不可替代的"装备基石"。