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高精度磁控溅射设备的特点有哪些

发布时间:

2023/09/19 00:28

磁控溅射设备壁垒更高,整体设备厂商未来或呈整线布局趋势。设备整线布局可以提升良率,发挥协同效应,寻找合适参数实现产能。目前除了布局一体机的设备厂外,许多单设备厂商开始考虑整线布局,如由水电镀设备向上布局磁控溅射设备,在磁控溅射设备基础上或将向下布局。

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