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致真刻度｜从国家项目到国际认证：一份关于“破局”的五年答卷
时间：
2026-07-10
国之重器，必破技术藩篱；产业根基，当守自主命脉。致真设备的起点，锚定的是国家重大战略需求中“卡脖子”最深的环节之一。
2018年，团队获批国家重大科研仪器研制项目——国家自然科学基金委资助的科研仪器项目。一个初创团队，起步就是国家队。2021年，首台样机研制成功，并成立了合肥致真精密设备有限公司。
2021-2026年，致真设备完成了从国家项目到国际认证的完整跃迁。从一张白纸，到60余项荣誉资质、百余项知识产权，从4英寸到12英寸全系列覆盖，从实验室到国内头部半导体企业的产线——致真设备的每一步，都在回答同一个问题：国产设备，能不能行？
而这些资质与荣誉，就是答案。
破局起点从国家立项到国产突破
2018年，团队获批国家重大科研仪器研发专项。而后，相继获批安徽省科技重大专项和工信部重点研发专项，致真设备一步步向12英寸产业级设备发起攻关。
从国家自然科学基金委到工信部，致真设备获得的研发支持覆盖了“基础研究→关键技术攻关→产业化”的全链条。薄膜沉积设备是半导体三大核心装备之一，国产化率长期在低位徘徊，这是国家“卡脖子”清单上的重点攻关方向，也是致真设备所有研发攻关的核心目标。
权威筑基从技术认可到资质认定
中国仪器仪表学会技术发明奖一等奖
2023年，团队凭借“原子尺度界面自旋电子的原位实时表征与调控系统”，斩获中国仪器仪表学会技术发明奖一等奖。该学会是国家一级学会，具备国家科技奖推荐资格，当年度全国仅评选6项一等奖——致真设备位列其中，跻身全国仪器仪表领域第一梯队。
国家高新技术企业
2023年，获评国家高新技术企业。从知识产权到成果转化、从研发管理到成长性，认可了致真设备的技术实力与创新体系。
安徽省专精特新中小企业
2025年，荣获安徽省专精特新中小企业。聚焦产业纵深，从专业化、精细化、特色化到创新能力，认定致真设备在产业链关键环节的不可替代性。
三重认定，从技术高度、企业资质、产业定位三个维度，构筑起致真设备的技术底座。
关键一跃从科研验证到量产交付
合肥市首台套重大技术装备
2024年，致真设备“8英寸高真空磁控溅射系统”入选合肥市首台套重大技术装备。首台套标志着设备不再只是实验室里的“样品”，而是经过权威检验、可以规模化推向市场的“产品”。
SEMI S2/S8双认证
2025年，致真设备获SEMI S2/S8双认证，SEMI标准体系是半导体设备进入全球晶圆厂必须跨越的“合规门槛”，涵盖电气、机械、防火、辐射等多领域安全审查。
至此，致真设备完成了从国家科研项目到国际准入标准的全链路能力构建。
五年刻度 一份答卷
这些是致真交给行业的一份答卷。但比证书更重要的，是证书背后的东西——国家重大科研仪器项目，意味着从源头就肩负着突破“卡脖子”环节的国家使命；中国仪器仪表学会技术发明一等奖，意味着行业权威认可了致真的技术实力；首台套，意味着产品已经从实验室走向了产线；专精特新，意味着致真在细分领域扎得足够深；SEMI S2/S8认证，意味着致真的设备可以进入全球市场。
从“卡脖子”到“做支撑”，从国产空白到国际认证，致真设备用5年时间，一块拼图接着一块拼图，拼出了国产薄膜沉积设备的一份底气。
国产设备能不能行？致真设备的答案不仅在证书里，更在产线上。下一块刻度，正在沉积中。
合肥致真精密设备有限公司
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