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工艺菜单定制

致真设备可根据客户需求,开发如自旋、超导量子、MEMS等领域的薄膜工艺菜单: 自旋磁性多层膜:PMA、TMR等; 超导量子:Nb、NbN、约瑟夫森结等; MEMS: AlN、ZnO等 。

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科研级电子束蒸发设备 EB-400

电子束蒸发设备可以在高真空和超高真空环境下实现精确的多层薄膜制备。线性电子束枪可以实现多种材料的蒸发。设备可选配考夫曼离子源实现晶圆的预清洗,可用于超导量子等领域,适用于高校及企业研发和小规模生产场合。

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电子束蒸发设备—E-Beam-HV

电子束蒸发设备可以在高真空和超高真空环境下实现精确的多层薄膜制备。线性电子束枪可以实现多种材料的蒸发。设备可选配考夫曼离子源实现晶圆的预清洗,可用于超导量子等领域,适用于高校及企业研发和小规模生产场合。

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