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产业级薄膜制备设备

科研级薄膜制备设备

真空传输平台

定制服务

直线伸缩驱动

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直线伸缩驱动

两个镀膜系统直接互联

致真设备还推出了多款互联设备实现多个系统的互联，适用于2~8英寸的晶圆。通过真空泵组搭配可实现晶圆的超高真空传输。根据需求可以选择两套系统直接相连，成本较低且运行可靠。也可以通过圆形互联系统实现多个系统相连，通过选配进样室可以实现超高真空过渡，减少对镀膜系统的污染。

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两个镀膜系统直接互联

圆形互联设备（外置机械臂、内置机械臂）

致真设备还推出了多款互联设备实现多个设备的互联，适用于2~8英寸的晶圆。通过真空泵组搭配可实现晶圆的超高真空传输。根据需求可以选择两套设备直接相连，成本较低且运行可靠。也可以通过圆形互联设备实现多个设备相连，通过选配进样室可以实现超高真空过渡，减少对镀膜设备的污染。

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圆形互联设备（外置机械臂、内置机械臂）

分子束外延设备—MBE-400

MBE-400设备可制备高性能的氧化物材料、拓扑绝缘体等。模块化设计可与我司其他设备互联，实现多种材料的沉积。

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分子束外延设备—MBE-400

磁耦合传样杆

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磁耦合传样杆

齿轮传样杆

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齿轮传样杆

法兰口对准器

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法兰口对准器

软件系统定制

1.实时性：全自动上位机软件能够实时获取和显示设备运行过程中的状态信息，用户可随时了解当前设备的情况，并及时采取相应措施。 2.可视化：全自动上位机软件通过图形化界面将复杂的机械臂调度和工艺过程呈现出来，并且添加实时曲线图，使用户能够直观地了解设备动态的状态，可利用可视化界面监控设备的运行状态、工艺过程的进展情况等。3.可扩展性：全自动上位机软件可根据不同客户需求定制相应软件，可扩展不同下位电控件，满足多种工艺要求，实现各种工艺镀膜流程。

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